本实用新型公开一种氦气回收提纯装置，包括回收气罐、回收压缩泵、气体膜分离器、气体提纯塔和真空泵；回收压缩泵的入口管路连接回收气罐，回收气罐上安装有压力变送器一，回收气罐的入口管路上安装有质量流量控制计一，质量流量控制计一的入口连接氦气回收场景；回收压缩泵的出口管路连接气体膜分离器，气体膜分离器的出口管路连接气体提纯塔，气体提纯塔不少于两组且各组相互并联，每组气体提纯塔均通过控制阀门控制气体流向，气体提纯塔的入口管路上接有真空泵，出口管路上接有质量流量控制计二。
本实用新型采用膜+变压吸附的复合方法，能完成对复杂工况的低浓度的氦气、氢气、氖气等的回收和提纯操作，回收效率高、纯度高。

郭会军 杨俊鹏 杨辉 陈伟

安徽中科皖能科技有限公司

230000 安徽省合肥市庐阳区耀远路工投兴庐科技产业园2号楼901室

本实用新型公开一种氦气回收提纯装置，包括回收气罐、回收压缩泵、气体膜分离器、气体提纯塔和真空泵；回收压缩泵的入口管路连接回收气罐，回收气罐上安装有压力变送器一，回收气罐的入口管路上安装有质量流量控制计一，质量流量控制计一的入口连接氦气回收场景；回收压缩泵的出口管路连接气体膜分离器，气体膜分离器的出口管路连接气体提纯塔，气体提纯塔不少于两组且各组相互并联，每组气体提纯塔均通过控制阀门控制气体流向，气体提纯塔的入口管路上接有真空泵，出口管路上接有质量流量控制计二。
本实用新型采用膜+变压吸附的复合方法，能完成对复杂工况的低浓度的氦气、氢气、氖气等的回收和提纯操作，回收效率高、纯度高。