一种利用可溶性支撑层转移钙钛矿氧化物薄膜的方法，包括以下步骤：步骤1，清洗基底，在薄膜与基底之间生长一层水溶性牺牲层；步骤2，使用AR3510T光刻胶作为薄膜剥离时的支撑层；步骤3，将涂覆了光刻胶的薄膜脱离光刻胶，将薄膜转移至其他基底；步骤4，使用丙酮将支撑层去除。
本发明根据柔性器件材料研究过程中样品制备所遇到的问题进行了一系列改进，利用铝酸锶和钙钛矿型氧化物晶格常数比较匹配且溶于水的特性，方便剥离氧化物薄膜不至于损伤薄膜。

刘明 周子尧 彭斌 胡忠强 邱瑞玢

西安交通大学

710049 陕西省西安市咸宁西路28号

一种利用可溶性支撑层转移钙钛矿氧化物薄膜的方法，包括以下步骤：步骤1，清洗基底，在薄膜与基底之间生长一层水溶性牺牲层；步骤2，使用AR3510T光刻胶作为薄膜剥离时的支撑层；步骤3，将涂覆了光刻胶的薄膜脱离光刻胶，将薄膜转移至其他基底；步骤4，使用丙酮将支撑层去除。
本发明根据柔性器件材料研究过程中样品制备所遇到的问题进行了一系列改进，利用铝酸锶和钙钛矿型氧化物晶格常数比较匹配且溶于水的特性，方便剥离氧化物薄膜不至于损伤薄膜。