本发明涉及一种在涂布机构的移动方向上隔开的涂布膜的形成，其目的在于提供一种可高水平地维持涂布处理的精度，并可缩短涂布处理时间的涂布装置以及涂布方法。
与本发明有关的涂布装置通过进行使第2涂布机构(16)到达第2端部(16y)的时机晚于第1涂布机构(14)到达第1端部(14y)的时机的时间差控制，使第1涂布机构(14)与第2涂布机构(16)隔开，并使第1涂布机构(14)及第2涂布机构(16)的移动的至少一部分在时间上并行来进行。

时枝大佐 芳川典生

株式会社斯库林集团

日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1

本发明涉及一种在涂布机构的移动方向上隔开的涂布膜的形成，其目的在于提供一种可高水平地维持涂布处理的精度，并可缩短涂布处理时间的涂布装置以及涂布方法。
与本发明有关的涂布装置通过进行使第2涂布机构(16)到达第2端部(16y)的时机晚于第1涂布机构(14)到达第1端部(14y)的时机的时间差控制，使第1涂布机构(14)与第2涂布机构(16)隔开，并使第1涂布机构(14)及第2涂布机构(16)的移动的至少一部分在时间上并行来进行。