本发明涉及一种石英安瓿壁面熏碳装置，属于石英安瓿熏碳技术领域，包括支座、支架、密封装置、炉体、熏碳加热炉保温层、熏碳加热热电耦、低温预热炉保温层、低温预热热电耦、甲烷气罐、甲烷管路、甲烷开关阀、甲烷流量计；本发明能够将需要熏碳的石英管部分（区段）加热至1000℃，其余无需熏碳的石英管管口部分，控制加热温度低于1000℃，能够对石英管的特定段进行熏碳，无需熏碳的石英管管口部分则不会熏附有碳膜层，这样在保证碲锌镉等高纯单晶材料制备的同时，能够有效避免石英管管口部分受到碳膜镀层影响，石英管管口很难熔化封闭而造成泄漏导致石英管内原材料或待制备物氧化变质，无法制备出较好的碲锌镉晶体材料的问题。

罗亚南 郭关柱

云南农业大学

650201 云南省昆明市盘龙区沣源路452号云南农业大学

本发明涉及一种石英安瓿壁面熏碳装置，属于石英安瓿熏碳技术领域，包括支座、支架、密封装置、炉体、熏碳加热炉保温层、熏碳加热热电耦、低温预热炉保温层、低温预热热电耦、甲烷气罐、甲烷管路、甲烷开关阀、甲烷流量计；本发明能够将需要熏碳的石英管部分（区段）加热至1000℃，其余无需熏碳的石英管管口部分，控制加热温度低于1000℃，能够对石英管的特定段进行熏碳，无需熏碳的石英管管口部分则不会熏附有碳膜层，这样在保证碲锌镉等高纯单晶材料制备的同时，能够有效避免石英管管口部分受到碳膜镀层影响，石英管管口很难熔化封闭而造成泄漏导致石英管内原材料或待制备物氧化变质，无法制备出较好的碲锌镉晶体材料的问题。