本发明提供一种金刚石膜散热片及其制备方法，所述散热片包括复合衬底材料基层，以及与所述基层表面连接的金刚石膜层；所述复合衬底材料基层包括均匀混合的金刚石颗粒、碳化硅颗粒及硅粉。
本发明衬底材料以硅粉为主，通过在硅粉中添加碳化硅颗粒和金刚石颗粒组成的衬底材料，以硅为主体材料，通过添加碳化硅颗粒和金刚石颗粒来提升衬底材料的整体导热能力；同时，衬底材料中的金刚石颗粒能为CVD金刚石膜形核阶段提供形核核心，有利于提高CVD金刚石膜在衬底材料表面生长时的形核密度。

吴宇琼 晋梅 邹琳玲 安良 唐小淋

江汉大学

430056 湖北省武汉市沌口经济技术开发区新江大路8号

本发明提供一种金刚石膜散热片及其制备方法，所述散热片包括复合衬底材料基层，以及与所述基层表面连接的金刚石膜层；所述复合衬底材料基层包括均匀混合的金刚石颗粒、碳化硅颗粒及硅粉。
本发明衬底材料以硅粉为主，通过在硅粉中添加碳化硅颗粒和金刚石颗粒组成的衬底材料，以硅为主体材料，通过添加碳化硅颗粒和金刚石颗粒来提升衬底材料的整体导热能力；同时，衬底材料中的金刚石颗粒能为CVD金刚石膜形核阶段提供形核核心，有利于提高CVD金刚石膜在衬底材料表面生长时的形核密度。