本发明提供一种等离子体处理检测指示器，其为具有通过等离子体处理而变色的变色层的指示器，其中，通过等离子体处理而变色层气体化或成为微细的屑而飞散的情况被抑制到对电子器件特性不带来影响的程度，且耐热性良好。
本发明具体提供一种等离子体处理检测指示器，其为具有通过等离子体处理而变色的变色层的等离子体处理检测指示器，其中，所述变色层含有选自由Mo、W、Sn、V、Ce、Te及Bi构成的组中的至少一种金属元素的单体和/或包含该金属元素的无机化合物。

山川裕 采山和弘 菱川敬太 西正之 清水雅弘

株式会社樱花彩色笔

日本国大阪府大阪市东成区中道一丁目１０番１７号

本发明提供一种等离子体处理检测指示器，其为具有通过等离子体处理而变色的变色层的指示器，其中，通过等离子体处理而变色层气体化或成为微细的屑而飞散的情况被抑制到对电子器件特性不带来影响的程度，且耐热性良好。
本发明具体提供一种等离子体处理检测指示器，其为具有通过等离子体处理而变色的变色层的等离子体处理检测指示器，其中，所述变色层含有选自由Mo、W、Sn、V、Ce、Te及Bi构成的组中的至少一种金属元素的单体和/或包含该金属元素的无机化合物。