本发明的一种从四氟化碳生产工业废气中回收提纯电子级六氟乙烷的生产方法，属于六氟乙烷生产领域；包括以下步骤：热分解提纯装置，微氧吸附再生装置；经过精密过滤后，进入分馏装置，分馏装置产生四氟化碳气体的返回四氟化碳生产线中，以提高了四氟化碳回收率；含有少量杂质的六氟乙烷依次经过汽化器汽化后进入缓冲罐；并使用隔膜式压缩机增压使缓冲罐中的六氟乙烷进入带压运行的吸附塔；再经过预冷器预冷后依次通过高沸精馏塔和低沸精馏塔去除杂质。
提高了四氟化碳回收率；并达到电子级六氟乙烷的技术要求；生产出的电子级六氟乙烷不含有会对臭氧层造成破坏的氯元素；可减少温室气体排放，可实现工业废气资源化利用和节能减排。

林百志 刘志强 张朝春 曾熙 李卫国 华小林 邱桂祥

福建德尔科技有限公司

364200 福建省龙岩市上杭县蛟洋镇蛟洋工业集中区工业路6号

本发明的一种从四氟化碳生产工业废气中回收提纯电子级六氟乙烷的生产方法，属于六氟乙烷生产领域；包括以下步骤：热分解提纯装置，微氧吸附再生装置；经过精密过滤后，进入分馏装置，分馏装置产生四氟化碳气体的返回四氟化碳生产线中，以提高了四氟化碳回收率；含有少量杂质的六氟乙烷依次经过汽化器汽化后进入缓冲罐；并使用隔膜式压缩机增压使缓冲罐中的六氟乙烷进入带压运行的吸附塔；再经过预冷器预冷后依次通过高沸精馏塔和低沸精馏塔去除杂质。
提高了四氟化碳回收率；并达到电子级六氟乙烷的技术要求；生产出的电子级六氟乙烷不含有会对臭氧层造成破坏的氯元素；可减少温室气体排放，可实现工业废气资源化利用和节能减排。