本发明涉及一种具有微型热结构图案的石墨烯薄膜的加工系统，包括过滤杯、抽滤集液瓶、真空泵、用于加持滤膜的固定夹、超声水槽和图案加工装置；所述滤杯和抽滤集液瓶上下扣合，所述滤膜设置在所述滤杯和抽滤集液瓶之间，所述真空泵与所述抽滤集液瓶连通；所述抽滤集液瓶设置在所述超声水槽内；所述图案加工装置用于在石墨烯薄膜上加工热结构图案。
本发明克服了散热结构无法跟随电子制造向制造最小化的多功能器件的趋势；进一步满足了设备简单、易操作、低成本、精度高、灵活度高等需求。

陈云 郭媛慧 卜弋轩 林灿光 高增光 龙俊宇 陈桪 陈新 高健

广东工业大学

510062 广东省广州市越秀区东风东路729号

本发明涉及一种具有微型热结构图案的石墨烯薄膜的加工系统，包括过滤杯、抽滤集液瓶、真空泵、用于加持滤膜的固定夹、超声水槽和图案加工装置；所述滤杯和抽滤集液瓶上下扣合，所述滤膜设置在所述滤杯和抽滤集液瓶之间，所述真空泵与所述抽滤集液瓶连通；所述抽滤集液瓶设置在所述超声水槽内；所述图案加工装置用于在石墨烯薄膜上加工热结构图案。
本发明克服了散热结构无法跟随电子制造向制造最小化的多功能器件的趋势；进一步满足了设备简单、易操作、低成本、精度高、灵活度高等需求。