本发明公开了一种不易结晶易清洗的高效硅溶胶抛光液，所述硅溶胶抛光液由以下重量份数的原料组成：氧化硅抛光剂20‑40重量份、降低抛光液挥发性的水溶性载体5‑15重量份、助清洗的络合剂3‑8重量份、氧化剂1‑5重量份和去离子水50‑80重量份。
本发明的抛光液，解决了传统硅溶胶抛光液在使用过程中易于干燥结晶，工件难以清洗的技术问题；同时，本发明的抛光液具有悬浮性能强，长期存储不分层，便于使用和抛光效率高等优异性能。
本发明还公开了一种不易结晶易清洗的高效硅溶胶抛光液的制备方法。

孙韬

宁波日晟新材料有限公司

315410 浙江省宁波市余姚市丈亭镇龙丰村

本发明公开了一种不易结晶易清洗的高效硅溶胶抛光液，所述硅溶胶抛光液由以下重量份数的原料组成：氧化硅抛光剂20‑40重量份、降低抛光液挥发性的水溶性载体5‑15重量份、助清洗的络合剂3‑8重量份、氧化剂1‑5重量份和去离子水50‑80重量份。
本发明的抛光液，解决了传统硅溶胶抛光液在使用过程中易于干燥结晶，工件难以清洗的技术问题；同时，本发明的抛光液具有悬浮性能强，长期存储不分层，便于使用和抛光效率高等优异性能。
本发明还公开了一种不易结晶易清洗的高效硅溶胶抛光液的制备方法。