用于化学机械抛光的浆料组合物、其制法、抛光方法、制造半导体器件的方法和抛光设备 下载此专利PDF版本

CN201610905553.0 机械 化学 设备 抛光 方法

目录

专利摘要

本发明涉及用于化学机械抛光的浆料组合物、其制法、抛光方法、制造半导体器件的方法和抛光设备。
用于化学机械抛光工艺的浆料组合物包括分散介质、和具有结合至其表面的NO

专利状态

  1. 申请日
  2. 公开日
  3. 有效专利

基础信息

专利号
CN201610905553.0
申请日
2016-10-17
公开日
2021-04-06
公开号
CN106867411B
主分类号
/C/C09/ 化学；冶金
标准类别
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
有效专利

发明人

金礼桓 白云揆 徐智训

申请人

三星电子株式会社 汉阳大学校产学协力团

申请人地址

韩国京畿道

专利摘要

本发明涉及用于化学机械抛光的浆料组合物、其制法、抛光方法、制造半导体器件的方法和抛光设备。
用于化学机械抛光工艺的浆料组合物包括分散介质、和具有结合至其表面的NO

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