本发明公开了一种FV520B材料叶轮叶片的化学机械抛光方法与抛光液，该抛光方法为：叶轮叶片在化学机械抛光液中旋转，使FV520B材料叶轮叶片表面与化学试剂发生化学反应，同时通过磨料与叶片表面的刮擦机械作用，将其表面残料去除；其中化学机械抛光液包含种磨粒、氧化剂、表面活性剂、光亮剂、溶解剂和去离子水。
本发明提出的叶轮叶片化学机械抛光方法较其传统的机械加工、化学刻蚀、手工抛光等方式操作更简便、叶片表面抛光精度更高、抛光周期更短，研制的FV520B材料抛光液填补了国内外空白，且可有效去除FV520B材料叶轮叶片表面各部位的残料。

张振宇 廖龙兴 谢文祥 王林海

大连理工大学

116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号

本发明公开了一种FV520B材料叶轮叶片的化学机械抛光方法与抛光液，该抛光方法为：叶轮叶片在化学机械抛光液中旋转，使FV520B材料叶轮叶片表面与化学试剂发生化学反应，同时通过磨料与叶片表面的刮擦机械作用，将其表面残料去除；其中化学机械抛光液包含种磨粒、氧化剂、表面活性剂、光亮剂、溶解剂和去离子水。
本发明提出的叶轮叶片化学机械抛光方法较其传统的机械加工、化学刻蚀、手工抛光等方式操作更简便、叶片表面抛光精度更高、抛光周期更短，研制的FV520B材料抛光液填补了国内外空白，且可有效去除FV520B材料叶轮叶片表面各部位的残料。