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专利摘要

本发明涉及化学气相沉积加工装置技术领域,且公开了一种化学气相沉积管式炉实验装置,包括支撑架,所述支撑架的上部固定连接有侧挡板,所述侧挡板内侧的下部安装有实验管式炉本体。
该化学气相沉积管式炉实验装置,通过在物块放置板上部的中部安装有对个限位板,且限位板的上部为尖锐状,使得方便降低限位板与物块底部之间的接触面,同时增加装置使用时,方便与气体进行流通的作用,同时转动侧挡板一侧的螺纹杆,使得可带动侧挡板前后移动,使得方便带动侧挡板对物块进行夹持固定的作用,同时装置内部推动夹持板的下部安装有支撑杆,其中支撑杆活动套接在滑槽的内部,使得起到对装置侧挡板移动的位置进行限定。

专利状态

基础信息

专利号
CN202011184500.7
申请日
2020-10-30
公开日
2021-01-29
公开号
CN112281139A
主分类号
/C/C23/ 化学;冶金
标准类别
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
发明公开

发明人

于彦龙 朱晶 孙宏宇 王俊 于翠艳 许涛

申请人

东北石油大学

申请人地址

163000 黑龙江省大庆市高新技术开发区发展路199号东北石油大学

专利摘要

本发明涉及化学气相沉积加工装置技术领域,且公开了一种化学气相沉积管式炉实验装置,包括支撑架,所述支撑架的上部固定连接有侧挡板,所述侧挡板内侧的下部安装有实验管式炉本体。
该化学气相沉积管式炉实验装置,通过在物块放置板上部的中部安装有对个限位板,且限位板的上部为尖锐状,使得方便降低限位板与物块底部之间的接触面,同时增加装置使用时,方便与气体进行流通的作用,同时转动侧挡板一侧的螺纹杆,使得可带动侧挡板前后移动,使得方便带动侧挡板对物块进行夹持固定的作用,同时装置内部推动夹持板的下部安装有支撑杆,其中支撑杆活动套接在滑槽的内部,使得起到对装置侧挡板移动的位置进行限定。

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