本发明涉及一种使用颗粒涂覆基板的方法，其中以下方法步骤在真空中进行：将要被涂覆的基板(7)的基板表面定位真空中并且在其中布置了要涂覆所述基板表面所用的固体颗粒的区域的方向上；并且以下面这样的方式将电子引入所述固体颗粒中以使所述固体颗粒静电充电：即由所述静电充电引起的力将所述固体颗粒彼此分离并且使它们在所述基板(7)的基板表面的方向上加速，以便使用彼此分离的固体颗粒的至少一部分来涂覆所述基板表面。
可以被用于此目的的装置具有颗粒容器、基板保持器和电子源。

迈克·菲卢夫 埃克哈特·赖因霍尔德 拉尔斯·乌尔曼

冯·阿登纳资产股份有限公司

德国德累斯顿

本发明涉及一种使用颗粒涂覆基板的方法，其中以下方法步骤在真空中进行：将要被涂覆的基板(7)的基板表面定位真空中并且在其中布置了要涂覆所述基板表面所用的固体颗粒的区域的方向上；并且以下面这样的方式将电子引入所述固体颗粒中以使所述固体颗粒静电充电：即由所述静电充电引起的力将所述固体颗粒彼此分离并且使它们在所述基板(7)的基板表面的方向上加速，以便使用彼此分离的固体颗粒的至少一部分来涂覆所述基板表面。
可以被用于此目的的装置具有颗粒容器、基板保持器和电子源。