本发明公开了一种气浮电机润滑涂层制备方法,包括以下步骤:S1:利用气体离子源对基体表面进行高低能交替清洗;S2:利用BN加热器在真空度1×10
廖斌 英敏菊 欧阳潇 欧阳晓平 罗军 庞盼 陈琳 张旭 吴先映 华青松
北京师范大学
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