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专利摘要

本发明公开了一种气浮电机润滑涂层制备方法,包括以下步骤:S1:利用气体离子源对基体表面进行高低能交替清洗;S2:利用BN加热器在真空度1×10

专利状态

基础信息

专利号
CN202010198940.1
申请日
2020-03-20
公开日
2020-08-04
公开号
CN111485208A
主分类号
/C/C23/ 化学;冶金
标准类别
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
审查中-实审

发明人

廖斌 英敏菊 欧阳潇 欧阳晓平 罗军 庞盼 陈琳 张旭 吴先映 华青松

申请人

北京师范大学

申请人地址

100875 北京市海淀区新街口外大街19号

专利摘要

本发明公开了一种气浮电机润滑涂层制备方法,包括以下步骤:S1:利用气体离子源对基体表面进行高低能交替清洗;S2:利用BN加热器在真空度1×10

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