本发明提供一种蚀刻设备，包括载物台与两个以上喷淋单元，载物台用以放置基板；喷淋单元设于所述载物台上方，用以向所述基板喷淋刻蚀液；每一喷淋单元包括第一喷嘴与第二喷嘴，第一喷嘴朝向所述基板方向，第一喷嘴中心轴线与竖直方向形成第一夹角；以及第二喷嘴朝向所述基板方向，第二喷嘴中心轴线与竖直方向形成第二夹角。
通过调节喷淋单元中的每一喷嘴的方向，使得金属层侧壁下部的腐蚀程度更深，从而调节面板成品中taper角的角度，使得taper角的角度不会过小，进而提高面板的良率。

刘三泓

TCL华星光电技术有限公司

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

本发明提供一种蚀刻设备，包括载物台与两个以上喷淋单元，载物台用以放置基板；喷淋单元设于所述载物台上方，用以向所述基板喷淋刻蚀液；每一喷淋单元包括第一喷嘴与第二喷嘴，第一喷嘴朝向所述基板方向，第一喷嘴中心轴线与竖直方向形成第一夹角；以及第二喷嘴朝向所述基板方向，第二喷嘴中心轴线与竖直方向形成第二夹角。
通过调节喷淋单元中的每一喷嘴的方向，使得金属层侧壁下部的腐蚀程度更深，从而调节面板成品中taper角的角度，使得taper角的角度不会过小，进而提高面板的良率。