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专利摘要

本发明提供一种基于界面水膜驱动的单层胶体晶体的自组装方法,属于纳米加工技术领域。
本发明方法利用超亲水基片表面水膜极强的毛细作用力来驱动玻璃容器中水‑空气界面的胶体粒子自发地组装在基片表面,从而获得芯片级或晶圆级的高质量单层胶体晶体,具有团聚颗粒覆盖率低、大面积微观有序性好、晶界少等显著优点。

专利状态

基础信息

专利号
CN201911037743.5
申请日
2019-10-29
公开日
2021-03-26
公开号
CN110685014B
主分类号
/C/C30/ 化学;冶金
标准类别
晶体生长
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
有效专利

发明人

熊杰 汪红波 晏超贻 饶高峰 陈伟 王显福 刘雨晴

申请人

电子科技大学

申请人地址

611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号

专利摘要

本发明提供一种基于界面水膜驱动的单层胶体晶体的自组装方法,属于纳米加工技术领域。
本发明方法利用超亲水基片表面水膜极强的毛细作用力来驱动玻璃容器中水‑空气界面的胶体粒子自发地组装在基片表面,从而获得芯片级或晶圆级的高质量单层胶体晶体,具有团聚颗粒覆盖率低、大面积微观有序性好、晶界少等显著优点。

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