本发明涉及半导体加工设备技术领域，且公开了一种可避免杂质混入晶体内的智能制造用半导体加工装置，包括活动盘，所述活动盘的底侧贯穿有连接筒，连接筒的内侧壁中贯穿有活动圈，活动圈的外侧壁中贯穿连接筒的侧壁活动连接有活动块，连接筒的外侧壁贯穿有活动筒，活动筒的顶端固定连接有连接块，连接块的顶端活动连接有活动球。
通过将活动盘向下按压的过程中，连接筒的侧壁可直接贯穿至活动筒的内侧壁中，连接筒的侧壁在刚开始进入至活动筒的内部期间，活动球的侧壁可顺着连接筒的外侧壁向上滑动，连接筒的侧壁处会受到由下至上的挤压，可限制住溶液流动的速度，缩小通道，无杂质的溶液可顺利通过，可溶解掉溶液中的气泡。

陈一霖

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本发明涉及半导体加工设备技术领域，且公开了一种可避免杂质混入晶体内的智能制造用半导体加工装置，包括活动盘，所述活动盘的底侧贯穿有连接筒，连接筒的内侧壁中贯穿有活动圈，活动圈的外侧壁中贯穿连接筒的侧壁活动连接有活动块，连接筒的外侧壁贯穿有活动筒，活动筒的顶端固定连接有连接块，连接块的顶端活动连接有活动球。
通过将活动盘向下按压的过程中，连接筒的侧壁可直接贯穿至活动筒的内侧壁中，连接筒的侧壁在刚开始进入至活动筒的内部期间，活动球的侧壁可顺着连接筒的外侧壁向上滑动，连接筒的侧壁处会受到由下至上的挤压，可限制住溶液流动的速度，缩小通道，无杂质的溶液可顺利通过，可溶解掉溶液中的气泡。