本实用新型提供一种多晶硅用石英陶瓷坩埚,包括坩锅体(1),所述坩埚体(1)包括涂覆层(1-3)、复合层(1-2)、基层(1-1),坩埚体(1)内壁为所述涂覆层(1-3),中间为所述复合层(1-2),外壁为所述基层(1-1)。
本实用新型的有益效果是有效的解决黏滞、多晶硅纯度低、只能一次性使用等问题,降低生产成本。
宋春梅
天津嘉泰盈顺健身器材有限公司
300383 天津市西青区王稳庄镇王稳庄村北
本实用新型提供一种多晶硅用石英陶瓷坩埚,包括坩锅体(1),所述坩埚体(1)包括涂覆层(1-3)、复合层(1-2)、基层(1-1),坩埚体(1)内壁为所述涂覆层(1-3),中间为所述复合层(1-2),外壁为所述基层(1-1)。
本实用新型的有益效果是有效的解决黏滞、多晶硅纯度低、只能一次性使用等问题,降低生产成本。