本发明适用于电弧放电装置技术领域，提供了一种电弧放电装置，包括第一电极和第二电极，所述第一电极、所述第二电极均与供能组件电性连接；动力组件，用于使所述第一电极与所述第二电极发生脱离，以使所述第一电极与所述第二电极之间生成电弧。
通过设置第一电极、第二电极、供能组件和动力组件，实现了在低电压下毫秒级稳定的电弧放电；通过设置控制模块、实现了电弧周围温度从室温到几千度高温的可控调节，使电弧制造的活性粒子能够更好的应用于晶体生长。

陈熙野 陈海勇

陈熙野

130012 吉林省长春市朝阳区前进大街吉大委31组

本发明适用于电弧放电装置技术领域，提供了一种电弧放电装置，包括第一电极和第二电极，所述第一电极、所述第二电极均与供能组件电性连接；动力组件，用于使所述第一电极与所述第二电极发生脱离，以使所述第一电极与所述第二电极之间生成电弧。
通过设置第一电极、第二电极、供能组件和动力组件，实现了在低电压下毫秒级稳定的电弧放电；通过设置控制模块、实现了电弧周围温度从室温到几千度高温的可控调节，使电弧制造的活性粒子能够更好的应用于晶体生长。