本发明公开了一种半导体级硅单晶炉的排气装置，针对现有的排气装置大多是单向的排气设置，容易造成单晶炉内温度的分布不均匀，从而出现制取单晶硅质量变差的问题，现提出以下方案，包括炉体，所述炉体的外壁上固定连接等距离分布的存气盒，两个所述存气盒的相邻一侧外壁上固定连接有同一个连接管，所述连接管的一侧外壁上固定连接有出气管，所述存气盒的一侧外壁上固定连接有连接块。
本发明挡风槽将转动过程中阻挡的气体在一定空间内搅乱，然后在分流槽的作用下分散在安装板附近，结合抽气泵的作用，保证了从吸气孔吸入的气体是热量混合均匀的气体，不会造成炉体内部石英坩埚周围温度不均，保证了单晶硅制备的稳定进行。

曹玉宝 李岩 李丹 马东兴 张丹

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本发明公开了一种半导体级硅单晶炉的排气装置，针对现有的排气装置大多是单向的排气设置，容易造成单晶炉内温度的分布不均匀，从而出现制取单晶硅质量变差的问题，现提出以下方案，包括炉体，所述炉体的外壁上固定连接等距离分布的存气盒，两个所述存气盒的相邻一侧外壁上固定连接有同一个连接管，所述连接管的一侧外壁上固定连接有出气管，所述存气盒的一侧外壁上固定连接有连接块。
本发明挡风槽将转动过程中阻挡的气体在一定空间内搅乱，然后在分流槽的作用下分散在安装板附近，结合抽气泵的作用，保证了从吸气孔吸入的气体是热量混合均匀的气体，不会造成炉体内部石英坩埚周围温度不均，保证了单晶硅制备的稳定进行。