本发明涉及扫描检测技术领域，具体而言，涉及一种内嵌式观测窗。
内嵌式观测窗包括底座、上壳体和主视窗；所述上壳体和所述主视窗均设置在所述底座上，且所述底座、所述上壳体和所述主视窗共同构成作业空间；所述上壳体相对所述底座固定；所述主视窗打开的方式包括：所述主视窗相对所述底座向所述作业空间内转动。
本发明主视窗能够通过相对底座向内部的作业空间内转动，以打开作业空间，反向转动以关闭作业空间，进而不会占用设备的外部空间，进而不会影响到操作人员的观察角度，提高了操作人员的观测准确性。

陶利权 刘盈楹 胡天水 王丽江 刘凯文 张利军 谢坤宪 闫芸

北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)

100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号

本发明涉及扫描检测技术领域，具体而言，涉及一种内嵌式观测窗。
内嵌式观测窗包括底座、上壳体和主视窗；所述上壳体和所述主视窗均设置在所述底座上，且所述底座、所述上壳体和所述主视窗共同构成作业空间；所述上壳体相对所述底座固定；所述主视窗打开的方式包括：所述主视窗相对所述底座向所述作业空间内转动。
本发明主视窗能够通过相对底座向内部的作业空间内转动，以打开作业空间，反向转动以关闭作业空间，进而不会占用设备的外部空间，进而不会影响到操作人员的观察角度，提高了操作人员的观测准确性。