一种气动马达的熵减进程，单片机用来对硅片降温段执行操纵，单片机为独自配备的单片机、平板电脑，单片机是气动马达的第一段单片机，它是单片机，所述单片机用来操纵该不该朝硅片降温段给能及给能的功率多少；把若干段变送器组配备在气动马达的与第一段回转支承相配合的运动辊内表面，结合若干段变送器组执行降温；避免了现有技术中经由里部环状架构上的贯通口把熵值高的气体由流动的架构把熵值高的气体流出使得降温不佳的问题。

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一种气动马达的熵减进程，单片机用来对硅片降温段执行操纵，单片机为独自配备的单片机、平板电脑，单片机是气动马达的第一段单片机，它是单片机，所述单片机用来操纵该不该朝硅片降温段给能及给能的功率多少；把若干段变送器组配备在气动马达的与第一段回转支承相配合的运动辊内表面，结合若干段变送器组执行降温；避免了现有技术中经由里部环状架构上的贯通口把熵值高的气体由流动的架构把熵值高的气体流出使得降温不佳的问题。