本公开总体上涉及尤其在检测到异常事件时，控制到负载的能量分配。
本公开的益处包括使放电事件的长度最小化，减轻放电的影响以及引发等离子体的激发方面的改进。
与本公开一致的方法和系统改善了对腔室内的操作条件的控制，并且提高了在腔室内更快速地发起等离子体激发的能力。

J·潘克拉茨 C·林恩

先进能源工业公司

美国科罗拉多州

本公开总体上涉及尤其在检测到异常事件时，控制到负载的能量分配。
本公开的益处包括使放电事件的长度最小化，减轻放电的影响以及引发等离子体的激发方面的改进。
与本公开一致的方法和系统改善了对腔室内的操作条件的控制，并且提高了在腔室内更快速地发起等离子体激发的能力。