本发明公开了一种电推进器工质供给装置以及电推进器，所述电推进器工质供给装置包括工质储罐、加热装置、流量阀、第一管道以及第二管道；所述工质储罐的垂直剖面呈凹槽型，所述加热装置和所述流量阀设置在所述凹槽内，所述流量阀的进气口通过所述第一管道与所述工质储罐内部连通，所述流量阀的出气口通过所述第二管道与放电腔连通。
本发明提供的电推进器工质供给装置以及电推进器，降低了电推进器的功耗，避免了蒸气易局部凝结的问题。

蔡建 贾少霞 杨景华 金婷 刘芳芳

中国科学院微电子研究所

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

本发明公开了一种电推进器工质供给装置以及电推进器，所述电推进器工质供给装置包括工质储罐、加热装置、流量阀、第一管道以及第二管道；所述工质储罐的垂直剖面呈凹槽型，所述加热装置和所述流量阀设置在所述凹槽内，所述流量阀的进气口通过所述第一管道与所述工质储罐内部连通，所述流量阀的出气口通过所述第二管道与放电腔连通。
本发明提供的电推进器工质供给装置以及电推进器，降低了电推进器的功耗，避免了蒸气易局部凝结的问题。