一种用于定位一工件(22)的平台总成(10)，该平台总成包括一平台(14)、一底座(12)、一流体致动器总成(24)及一控制系统(20)。
该流体致动器总成(24)沿着移动轴线(30)相对于该底座(12)来移动该平台(14)。
该流体致动器总成(24)包括：一活塞壳体(32)，其界定一活塞腔室(34)；一活塞(36)，其定位于该活塞腔室(34)内且沿着一活塞轴线(36A)相对于该活塞腔室而移动；及一阀总成(38)，其控制一活塞流体进入该活塞腔室(34)的流动。
该阀总成(38)包括具有一入口阀特性的一入口阀(38C)。
该控制系统(20)控制该阀总成(38)以控制该活塞流体进入该活塞腔室(34)的该流动。
该控制系统(20)可利用该入口阀特性的一反转以控制该阀总成(38)。

杨佰学 崔永俊 张秉威 坂田晃一 李树平

株式会社 尼康

日本东京都

一种用于定位一工件(22)的平台总成(10)，该平台总成包括一平台(14)、一底座(12)、一流体致动器总成(24)及一控制系统(20)。
该流体致动器总成(24)沿着移动轴线(30)相对于该底座(12)来移动该平台(14)。
该流体致动器总成(24)包括：一活塞壳体(32)，其界定一活塞腔室(34)；一活塞(36)，其定位于该活塞腔室(34)内且沿着一活塞轴线(36A)相对于该活塞腔室而移动；及一阀总成(38)，其控制一活塞流体进入该活塞腔室(34)的流动。
该阀总成(38)包括具有一入口阀特性的一入口阀(38C)。
该控制系统(20)控制该阀总成(38)以控制该活塞流体进入该活塞腔室(34)的该流动。
该控制系统(20)可利用该入口阀特性的一反转以控制该阀总成(38)。