一种微机电系统MEMS装置和用于操作该装置以确定流体的至少一个特性的方法。
该装置包括位于基底上的基部和从该基部延伸并与基底的表面分隔开的管结构。
管结构包括：至少一个管部分，更优选地，基本位于一个平面上的至少一对平行的管部分；被限定为至少部分地在所述平行的管部分内的至少一个连续的内部通路；和被流体连接到所述基部的内部通路的入口和出口。
驱动元件可操作，以在管结构的平面中引起该管结构的振动运动，并且在管部分中引起共振的振动运动。
感测元件在管结构被采用驱动元件振动时对管部分的偏斜进行感测。

D·R·斯帕克斯 M·W·普蒂 N·纳贾菲 R·T·史密斯

集成感应系统公司

美国密执安州

一种微机电系统MEMS装置和用于操作该装置以确定流体的至少一个特性的方法。
该装置包括位于基底上的基部和从该基部延伸并与基底的表面分隔开的管结构。
管结构包括：至少一个管部分，更优选地，基本位于一个平面上的至少一对平行的管部分；被限定为至少部分地在所述平行的管部分内的至少一个连续的内部通路；和被流体连接到所述基部的内部通路的入口和出口。
驱动元件可操作，以在管结构的平面中引起该管结构的振动运动，并且在管部分中引起共振的振动运动。
感测元件在管结构被采用驱动元件振动时对管部分的偏斜进行感测。