一种有助于保护微型阀或微型阀组件不受到环境影响的微型阀组件。
这种微型阀组件可机械组装，而不使用粘合剂和/或会脱气和/或减小其中所含静电致动装置的性能的其它材料。
特别是，微型阀组件包括底座固定件(16)、构造成附接在底座固定件上的夹紧固定件(10)以及布置在底座固定件和夹紧固定件之间的静电致动微型阀(12)。
夹紧固定件可机械固定在底座固定件上。

E·I·卡布兹 J·G·施维希滕伯格

霍尼韦尔国际公司

美国新泽西州

一种有助于保护微型阀或微型阀组件不受到环境影响的微型阀组件。
这种微型阀组件可机械组装，而不使用粘合剂和/或会脱气和/或减小其中所含静电致动装置的性能的其它材料。
特别是，微型阀组件包括底座固定件(16)、构造成附接在底座固定件上的夹紧固定件(10)以及布置在底座固定件和夹紧固定件之间的静电致动微型阀(12)。
夹紧固定件可机械固定在底座固定件上。