本实用新型公开了一种多级整流MEMS燃气流量计，属于流量计装置技术领域。
多级整流MEMS燃气流量计包括依次设置的均流段、混合段、多孔直管段、过渡段和出气通道，过渡段和出气通道之间设置有顺流块。
均流段上设置有中心进气孔和边孔，多孔直管段上均匀的设置有若干个通气孔一，顺流块上均匀的设置有若干个通气孔二。
过渡段与出气通道之间还设置有将过渡段和出气通道连通的旁路，旁路与过渡段通过进气管路连通，旁路与出气通道通过出气管路连通；旁路的外部套设有基板，基板上设置有MEMS质量流量传感器，MEMS质量流量传感器位于旁路内。
本实用新型采用上述结构的多级整流MEMS燃气流量计，能够解决现有的燃气流量计整流效果差、测量精度低、抗污染能力差的问题。

汪国庆

新聚(徐州)安全科技有限公司

065000 河北省廊坊市广阳区艾力枫社国际广场

本实用新型公开了一种多级整流MEMS燃气流量计，属于流量计装置技术领域。
多级整流MEMS燃气流量计包括依次设置的均流段、混合段、多孔直管段、过渡段和出气通道，过渡段和出气通道之间设置有顺流块。
均流段上设置有中心进气孔和边孔，多孔直管段上均匀的设置有若干个通气孔一，顺流块上均匀的设置有若干个通气孔二。
过渡段与出气通道之间还设置有将过渡段和出气通道连通的旁路，旁路与过渡段通过进气管路连通，旁路与出气通道通过出气管路连通；旁路的外部套设有基板，基板上设置有MEMS质量流量传感器，MEMS质量流量传感器位于旁路内。
本实用新型采用上述结构的多级整流MEMS燃气流量计，能够解决现有的燃气流量计整流效果差、测量精度低、抗污染能力差的问题。