本发明提供了一种气体轴承装配检测装置、方法和系统，涉及气体轴承技术领域。
所述装置包括：待检测的气体轴承本体，气体轴承本体包括定子和转子，定子上开设有内壁形状为半球面的安装槽，转子设置于安装槽内，且能够相对于定子转动；其中，转子由导电材料制成；安装于定子的内壁上的电容测量单元，电容测量单元包括相互间隔设置的发射电极和接收电极；信号发生电路，与发射电极连接，用于向发射电极输入激励检测电压；信号采集电路，与接收电极连接，用于采集接收电极上的电压信号。
本发明通过在定子的内壁上安装电容测量单元，在工作过程中获取电容测量单元的电容值，利用电容变间隙式测量原理，实现对气体轴承装配误差的直接检测。

黄沛 夏焕雄 刘检华 刘小康 郭磊 敖晓辉

北京理工大学

100081 北京市海淀区中关村南大街5号

本发明提供了一种气体轴承装配检测装置、方法和系统，涉及气体轴承技术领域。
所述装置包括：待检测的气体轴承本体，气体轴承本体包括定子和转子，定子上开设有内壁形状为半球面的安装槽，转子设置于安装槽内，且能够相对于定子转动；其中，转子由导电材料制成；安装于定子的内壁上的电容测量单元，电容测量单元包括相互间隔设置的发射电极和接收电极；信号发生电路，与发射电极连接，用于向发射电极输入激励检测电压；信号采集电路，与接收电极连接，用于采集接收电极上的电压信号。
本发明通过在定子的内壁上安装电容测量单元，在工作过程中获取电容测量单元的电容值，利用电容变间隙式测量原理，实现对气体轴承装配误差的直接检测。