本发明提供一种直接接触型金属隔膜阀，其仅用很简单的构造，即使在高温流体流过的期间中将阀以1000万次水平开闭后，也能够良好地减少因树脂制阀座的老化变形带来的CV值变动，并且还具备较高的耐久性，很适合用于ALD工艺。
技术方案是一种金属隔膜阀，具有：阀身，在与1次侧流路及2次侧流路连通的阀室中设有阀座；金属隔膜，配设在阀室的上方的中央部上下运动而向阀座抵接；阀杆，升降运动自如地设在该金属隔膜的上方，使金属隔膜的中央部向下方下降；在2次侧流路的一部分中设有流路节流部。

后藤晓 饭塚久修

株式会社开滋SCT

日本东京都

本发明提供一种直接接触型金属隔膜阀，其仅用很简单的构造，即使在高温流体流过的期间中将阀以1000万次水平开闭后，也能够良好地减少因树脂制阀座的老化变形带来的CV值变动，并且还具备较高的耐久性，很适合用于ALD工艺。
技术方案是一种金属隔膜阀，具有：阀身，在与1次侧流路及2次侧流路连通的阀室中设有阀座；金属隔膜，配设在阀室的上方的中央部上下运动而向阀座抵接；阀杆，升降运动自如地设在该金属隔膜的上方，使金属隔膜的中央部向下方下降；在2次侧流路的一部分中设有流路节流部。