本发明提供一种配置的自由度较高并适合于集成化且降低了制造成本和维护成本的分流系统。
一种分流系统，其将单一流量分割为多个流量，并以使分割后的流量的比成为设定流量比的方式对各流量进行控制，其中，该分流系统具有歧管(500)，其将单一流量分割为多个流量；以及多个流体控制装置(1M、1S)，该多个流体控制装置(1M、1S)相互分离并独立且相对于歧管(500)独立地形成，对多个流量分别进行控制，主装置(1M)具有通信部(102M)，该通信部(102M)向从装置(1S)发送基于设定流量比的设定流量值并接收从装置(1S)的流量检测值(DQ2)，从装置(1S)具有通信部(102S)，该通信部(102S)自主装置(1M)接收设定流量值并向主装置(1M)发送流量检测值(DQ2)。

中村刚 金井良友

株式会社富士金

日本大阪府

本发明提供一种配置的自由度较高并适合于集成化且降低了制造成本和维护成本的分流系统。
一种分流系统，其将单一流量分割为多个流量，并以使分割后的流量的比成为设定流量比的方式对各流量进行控制，其中，该分流系统具有歧管(500)，其将单一流量分割为多个流量；以及多个流体控制装置(1M、1S)，该多个流体控制装置(1M、1S)相互分离并独立且相对于歧管(500)独立地形成，对多个流量分别进行控制，主装置(1M)具有通信部(102M)，该通信部(102M)向从装置(1S)发送基于设定流量比的设定流量值并接收从装置(1S)的流量检测值(DQ2)，从装置(1S)具有通信部(102S)，该通信部(102S)自主装置(1M)接收设定流量值并向主装置(1M)发送流量检测值(DQ2)。