本发明公开一种曝光用光源模块单元。
根据本发明的曝光用光源模块单元包括：光源面板，其将多个紫外线发光元件设置为阵列结构；光学面板，在配置于发光元件的光射出侧的透镜面板，多个的单位聚光透镜设置为从分别与单位发光元件相对应的位置针对主光轴向经过紫外线发光元件阵列的中心的任意的基准中心轴线侧偏心的状态的矩阵形态的阵列结构，单位聚光透镜具有如下构成：光入射面形成为从平面、具有(‑)0.15以内的曲率(R)的凹面和具有(+)0.15以内的曲率(R)的凸面中选择的任意一种形态，同时，光射出面形成为凸透镜，紫外线发光元件和单位聚光透镜的间隔距离(C1)排列为相对于聚光透镜的直径(d)满足0.15<C1/d<0.5的值。
根据所述构成，效果在于，从各单位紫外线发光元件照射的扩散光得以有效地聚光于曝光装置的受光区域，从而使低消耗电力的光量极大化，尤其，通过实现高效率、高功率的单波长、短波长的紫外线光，可确保实现曝光图形的微细化和大幅度提升分辨率的曝光性能的同时，实用性和经济性上可代替现有曝光装置的光源。

赵南稙 印致亿 朴钟沅 宋友莉 丁海一

赵南稙

韩国忠清南道天安市

本发明公开一种曝光用光源模块单元。
根据本发明的曝光用光源模块单元包括：光源面板，其将多个紫外线发光元件设置为阵列结构；光学面板，在配置于发光元件的光射出侧的透镜面板，多个的单位聚光透镜设置为从分别与单位发光元件相对应的位置针对主光轴向经过紫外线发光元件阵列的中心的任意的基准中心轴线侧偏心的状态的矩阵形态的阵列结构，单位聚光透镜具有如下构成：光入射面形成为从平面、具有(‑)0.15以内的曲率(R)的凹面和具有(+)0.15以内的曲率(R)的凸面中选择的任意一种形态，同时，光射出面形成为凸透镜，紫外线发光元件和单位聚光透镜的间隔距离(C1)排列为相对于聚光透镜的直径(d)满足0.15<C1/d<0.5的值。
根据所述构成，效果在于，从各单位紫外线发光元件照射的扩散光得以有效地聚光于曝光装置的受光区域，从而使低消耗电力的光量极大化，尤其，通过实现高效率、高功率的单波长、短波长的紫外线光，可确保实现曝光图形的微细化和大幅度提升分辨率的曝光性能的同时，实用性和经济性上可代替现有曝光装置的光源。