本发明提供一种带加热器的减压单元(1)，其将涂敷有液状材料的基板(17)在减压处理室(4)内进行加热减压处理，其中，能够从下方支承位于减压处理室(4)内的基板(17)的多个支承销(16)立设固定在固定位置，并且多个支承销(16)分别插通在内置有加热器的加热板(12)上形成的多个贯通孔，将加热板(12)以能够升降的方式保持。

增成诚治 细川知子 池上岳宏 中谷英之 马场守

株式会社石井表记

日本国广岛县

本发明提供一种带加热器的减压单元(1)，其将涂敷有液状材料的基板(17)在减压处理室(4)内进行加热减压处理，其中，能够从下方支承位于减压处理室(4)内的基板(17)的多个支承销(16)立设固定在固定位置，并且多个支承销(16)分别插通在内置有加热器的加热板(12)上形成的多个贯通孔，将加热板(12)以能够升降的方式保持。