一种硅片清洗方法,包括:将硅片依次插入齿杆上相邻两夹紧齿之间,以使硅片支撑在各支撑杆上;将安装好硅片后的花篮主体放至清洗池的池底;推动端板沿滑轨向推块滑动至三个支撑杆分别与推动面接触后,打开喷淋;继续推动端板使得推块推动支撑杆沿滑动槽由高处滑动至低处,并压缩撑开弹簧,以使硅片向支撑杆跌落并露出硅片与夹紧齿夹紧的区域,进行清洗,从而提高了整个硅片的清洗效果;在清洗完成后,推块松开支撑杆,支撑杆在撑开弹簧的回弹力作用下推动硅片插回至两夹紧齿之间,并通过回弹力保证各硅片排列整齐。
钱诚 李刚 周志勇
常州江苏大学工程技术研究院 江苏亚电科技有限公司
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一种硅片清洗方法,包括:将硅片依次插入齿杆上相邻两夹紧齿之间,以使硅片支撑在各支撑杆上;将安装好硅片后的花篮主体放至清洗池的池底;推动端板沿滑轨向推块滑动至三个支撑杆分别与推动面接触后,打开喷淋;继续推动端板使得推块推动支撑杆沿滑动槽由高处滑动至低处,并压缩撑开弹簧,以使硅片向支撑杆跌落并露出硅片与夹紧齿夹紧的区域,进行清洗,从而提高了整个硅片的清洗效果;在清洗完成后,推块松开支撑杆,支撑杆在撑开弹簧的回弹力作用下推动硅片插回至两夹紧齿之间,并通过回弹力保证各硅片排列整齐。