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专利名称
专利号
申请日期
专利状态
1 一种硅片清洗系统 CN202011196895.2 2020-10-30 发明公开
2 一种便于排液的硅片清洗设备 CN202110072080.1 2021-01-20 有效专利
3 一种硅片生产用超声波清洗机 CN201910743796.2 2019-08-13 审查中-实审
4 利用二段式石英喷嘴清洗硅片的装置及方法 CN201910490436.6 2019-06-06 审查中-实审
5 一种太阳能多晶硅片的生产装置 CN201911351523.X 2019-12-24 有效专利
6 一种太阳能电池硅片插片装置 CN201711093664.7 2017-11-08 失效
7 一种防溢出硅片清洗设备 CN202110072088.8 2021-01-20 有效专利
8 一种硅片清洗方法 CN202110072089.2 2021-01-20 有效专利
9 一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺 CN202010990550.8 2020-09-19 发明公开
10 硅片表面长多晶的方法 CN201611248634.4 2016-12-29 失效
11 硅片检测分选机 CN202020487638.3 2020-04-03 有效专利
12 一种单晶硅片的单面制绒工艺及太阳能电池片的制备方法 CN202010811851.X 2020-08-13 审查中-实审
13 一种低翘曲多晶硅片 CN202011341832.1 2020-11-25 发明公开
14 一种多晶硅片的制造方法 CN200710044945.3 2007-08-16 暂失效-视为撤回
15 硅片酸抛光用添加剂及其应用 CN202010237584.X 2020-03-30 有效专利
16 金刚线切割多晶硅片的制绒挖孔添加剂、制绒沉银挖孔液、硅片以及太阳能电池 CN201811001506.9 2018-08-30 有效专利
17 一种用于太阳能硅片加工的金刚线切割液 CN201810563386.5 2018-06-04 审查中-实审
18 硅片碱抛后清洗用添加剂及其应用 CN202011047197.6 2020-09-29 有效专利
19 一种半导体硅片研磨液稳定性控制方法 CN201711379751.9 2017-12-20 有效专利
20 一种获得亲水性表面的抛光硅片加工方法 CN201811462180.X 2018-11-30 有效专利
21 一种硅片化学机械精抛抛光液的制备方法 CN202010930872.3 2020-09-07 审查中-实审
22 一种具有粗糙表面的硅片的制备方法以及硅片 CN202011049871.4 2020-09-29 审查中-实审
23 一种具有粗糙表面的硅片的制备方法以及硅片 CN202011053233.X 2020-09-29 审查中-实审
24 一种硅片膜层腐蚀剩余厚度的监控方法 CN202011024268.0 2020-09-25 审查中-实审
25 一种硅片沟槽内丝网印刷工艺 CN201710615668.0 2017-07-26 审查中-实审
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