本发明公开了一种硅片生产用超声波清洗机，包括机身，所述机身的一侧外壁上嵌入有电控面板，且机身相邻于电控面板的一侧外壁上通过螺栓固定连接有电机，所述电机的一端通过转轴转动连接有转筒，所述转筒的一侧外壁上通过铰链转动连接有筒盖，且转筒相邻于筒盖的一侧外壁上设置有密封盒，该硅片生产用超声波清洗机，通过转动式的转筒可以在硅片超声波清洗提供额外的水流冲击力，一方面保证水流的振动均匀的接触硅片表面，提高清洗的效果和均匀性，另一方面可以将硅片清洗后的液体通过高速的离心力甩出转筒，减少转筒内的杂质含量，为后续二次清洗提供洁净的环境，减少后续清洗液中杂质的再次附着，提高清洗的洁净程度。

余江湖 刘君 郑松

安徽晶天新能源科技有限责任公司

243000 安徽省马鞍山市承接产业转移示范园区北京大道嘉善科技园

本发明公开了一种硅片生产用超声波清洗机，包括机身，所述机身的一侧外壁上嵌入有电控面板，且机身相邻于电控面板的一侧外壁上通过螺栓固定连接有电机，所述电机的一端通过转轴转动连接有转筒，所述转筒的一侧外壁上通过铰链转动连接有筒盖，且转筒相邻于筒盖的一侧外壁上设置有密封盒，该硅片生产用超声波清洗机，通过转动式的转筒可以在硅片超声波清洗提供额外的水流冲击力，一方面保证水流的振动均匀的接触硅片表面，提高清洗的效果和均匀性，另一方面可以将硅片清洗后的液体通过高速的离心力甩出转筒，减少转筒内的杂质含量，为后续二次清洗提供洁净的环境，减少后续清洗液中杂质的再次附着，提高清洗的洁净程度。