本发明的一种自动化湿法设备机械手残液引流回收装置，包括负压废液回收桶，所述负压废液回收桶上设置有端盖，端盖上通过耐腐蚀真空管路连接有机械手，所述端盖上连接有真空发生器，所述真空发生器上连接有调压阀，所述真空发生器和端盖之间连接有气动阀，所述气动阀上连接有电磁阀。
本发明解决了自动化湿法设备机械手上残液的累积溢出问题。

解晗 夏久龙 葛荣祥 申强

中国电子科技集团公司第五十五研究所

210016 江苏省南京市秦淮区中山东路524号

本发明的一种自动化湿法设备机械手残液引流回收装置，包括负压废液回收桶，所述负压废液回收桶上设置有端盖，端盖上通过耐腐蚀真空管路连接有机械手，所述端盖上连接有真空发生器，所述真空发生器上连接有调压阀，所述真空发生器和端盖之间连接有气动阀，所述气动阀上连接有电磁阀。
本发明解决了自动化湿法设备机械手上残液的累积溢出问题。