本发明公开了一种多温区滑轨管式炉的控制方法，包括S10、针对每个温区，设定所述温区的目标温度值；S20、对所述温区内的至少三个测温点测温，获得实际温度值集合；S30、将所述实际温度值集合带入三次B样条曲线方程中，获得所述温区内的温度拟合曲线；S40、根据所述温区内的温度拟合曲线，获得所述温区内温度最接近所述目标温度值的目标位置；S50、将石英舟移动至第一个反应温度对应的温区的所述目标位置，通入第一种气源，进行化学反应；S60、当前反应步骤完成后，将石英舟移动至下一个反应温度对应的温区的所述目标位置，通入下一种气源，进行下一步的化学反应。
本发明既能够为实验者提供最准确的温度参数，又提供了良好的实验重复性。

刘子优 肖蕴章 钟国仿 陈炳安 张灿

深圳市纳设智能装备有限公司

518000 广东省深圳市光明区凤凰街道招商局光明科技园A6栋1B-1单元

本发明公开了一种多温区滑轨管式炉的控制方法，包括S10、针对每个温区，设定所述温区的目标温度值；S20、对所述温区内的至少三个测温点测温，获得实际温度值集合；S30、将所述实际温度值集合带入三次B样条曲线方程中，获得所述温区内的温度拟合曲线；S40、根据所述温区内的温度拟合曲线，获得所述温区内温度最接近所述目标温度值的目标位置；S50、将石英舟移动至第一个反应温度对应的温区的所述目标位置，通入第一种气源，进行化学反应；S60、当前反应步骤完成后，将石英舟移动至下一个反应温度对应的温区的所述目标位置，通入下一种气源，进行下一步的化学反应。
本发明既能够为实验者提供最准确的温度参数，又提供了良好的实验重复性。