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专利名称
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专利号
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申请日期
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专利状态
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| 1 | 一种加速度计的晶圆级封装结构 | CN202011166039.2 | 2020-10-27 | 审查中-实审 |
| 2 | 一种具有纯轴向变形敏感梁的MEMS压阻式三轴冲击加速度计芯片及其制备方法 | CN201910684531.X | 2019-07-26 | 有效专利 |
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