1.本实用新型实施例涉及灰尘清洁技术，尤其涉及一种灰尘清洁系统。


背景技术：

2.现有真空设备生产过程中受到灰尘(particle)影响极大，如内部存在有灰尘残留极易导致产品失效。现有灰尘处理方式主要包含有两种方法：干式清洁：采用具有负压的设备将设备内部的灰尘去除；湿式清洁：采用酒精等易挥发液态进行内部擦拭，从而实现灰尘去除。但实际操作过程中由于真空设备内部结构复杂，空间尺寸较小、灰尘直径较小，难以达到较高的清洁程度。


技术实现要素：

3.本实用新型提供了一种灰尘清洁系统，以实现复杂结构、各四周环境下灰尘的有效清洁。
4.本实用新型实施例提供了一种灰尘清洁系统，该灰尘清洁系统包括：灰尘收集装置、射频电离发生装置及吸尘装置；
5.所述灰尘收集装置包括至少一个吸气管道和至少一个吹气管道；所述吹气管道与所述吸气管道相邻排布；所述吸气管道的第一侧壁上沿径向开设有至少一个吸尘通孔；各所述吹气管道的第二侧壁上沿径向开设有至少一个吹扫通孔；
6.所述射频电离发生装置与所述吹扫通孔连通，所述射频电离发生装置产生的射频离子风通过所述吹扫通孔吹向待清洁部；
7.所述吸尘装置与所述吸尘通孔连通，所述吸尘装置通过所述吸尘通孔收集电离后的所述待清洁部的灰尘。
8.可选的，所述吸尘通孔及所述吹扫通孔分布在同一平面。
9.可选的，所述吸气管道表面及所述吹气管道表面共同形成连续凹凸表面，所述吸尘通孔开设在所述连续凹凸表面的相对凹处，所述吹扫通孔开设在所述连续凹凸表面的相对凸处。
10.可选的，所述吸气管道的第一侧壁沿轴向设置有多个吸尘通孔；所述吹气管道的第二侧壁沿轴向设置有多个吹扫通孔。
11.可选的，所述灰尘收集装置包括一个吸气管道和多个吹气管道，多个所述吹气管道均布于所述吸气管道外侧。
12.可选的，还包括至少一个调节开关装置；
13.所述调节开关装置，用于控制所述吹气管道的气流状态；和/或控制所述吸气管道的气流状态。
14.可选的，所述灰尘收集装置沿其延伸方向包括多个工作段，所述调节开关装置分别控制各所述工作段内所述吹扫通孔和/或所述吸尘通孔的工作状态。
15.可选的，多个所述吹扫通孔包括多个喷射方向，多个所述吸尘通孔包括多个吸尘
方向，所述调节开关装置分别控制各喷射方向的所述吹扫通孔的工作状态，和/或，所述调节开关装置分别控制各所述吸尘方向的所述吸尘通孔的工作状态。
16.可选的，所述吸气管道及所述吹气管道均为柔性管道。
17.本实施例，通过将吹气管道与吸气管道相邻排布；吸气管道的第一侧壁上沿径向开设有至少一个吸尘通孔；各吹气管道的第二侧壁上沿径向开设有至少一个吹扫通孔；这样射频电离发生装置与吹扫通孔连通，射频电离发生装置产生的射频离子风通过吹扫通孔吹向待清洁部；吸尘装置与吸尘通孔连通，吸尘装置通过吸尘通孔收集电离后的待清洁部的灰尘，如此在吸气管道侧壁设置吸尘通孔及在吹气管道侧壁设置吹扫通孔，可以达到沿管道侧壁吹扫灰尘，实现了复杂结构、各四周环境下灰尘的有效清洁。
附图说明
18.图1是本实用新型实施例提供的一种灰尘清洁系统的俯视结构示意图；
19.图2是沿图1中沿剖面线ab的一种灰尘清洁系统的剖面结构示意图；
20.图3是本实用新型实施例提供的另一种灰尘清洁系统的剖面结构示意图；
21.图4是本实用新型实施例提供的另一种灰尘清洁系统的剖面结构示意图；
22.图5是本实用新型实施例提供的另一种灰尘清洁系统的俯视结构示意图；
23.图6是本实用新型实施例提供的另一种灰尘清洁系统的俯视结构示意图。
具体实施方式
24.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
25.图1是本实用新型实施例提供的一种灰尘清洁系统的俯视结构示意图，图2是沿图1中剖面线ab的一种灰尘清洁系统的剖面结构示意图；如图1和图2所示，该灰尘清洁系统包括灰尘收集装置10、射频电离发生装置20及吸尘装置30；灰尘收集装置10包括至少一个吸气管道11和至少一个吹气管道12；吹气管道12与吸气管道11相邻排布；吸气管道11的第一侧壁上沿径向开设有至少一个吸尘通孔111；各吹气管道12的第二侧壁上沿径向开设有至少一个吹扫通孔121；射频电离发生装置20与吹扫通孔121连通，射频电离发生装置20产生的射频离子风通过吹扫通孔121吹向待清洁部；吸尘装置30与吸尘通孔111连通，吸尘装置30通过吸尘通孔111收集电离后的待清洁部的灰尘。
26.其中，在实际的应用中，该灰尘清洁系统的灰尘清洁原理是：该灰尘清洁系统中吹气管道12与吸气管道11相邻排布；射频电离发生装置20产生的射频离子风通过吹气管道12的第一侧壁上的吹扫通孔121沿各径向方向吹向待清洁部，可以将吹气管道12外围各四周环境方向的灰尘吹起，并将各四周环境方向的灰尘电离；电离后的灰尘通过吸气管道11的第二侧壁上的吸尘通孔111吸附于吸尘装置中，这样可以将吹气管道12四周各方向的灰尘清洁，实现了各四周环境下灰尘的有效清洁。另外，灰尘收集装置10中的吸气管道11和吹气管道12均采用柔性管道，这样灰尘收集装置10在不同环境下弯折，可以适合复杂结构的灰尘清洁。示例性的，吸尘装置30可以为负压吸气泵；射频电离发生装置20可以将h2/n2/ar等气体进行电离从而产出射频离子风，或者射频电离发生装置30与吸尘装置30相连，可以将
吸尘装置30吸附的灰尘粒子电离，并作为射频离子风通过吹扫通孔121，这样可以循环利用空气内的灰尘，也提高了灰尘的利用率。
27.可选的，图3是本实用新型实施例提供的另一种灰尘清洁系统的剖面结构示意图；如图3所示，吸尘通孔11及吹扫通孔112分布在同一平面。如此设置可以使得射频电离发生装置20产生的射频离子风通过吹扫通孔121沿各径向方向吹向待清洁部，并将漂浮的灰尘直接通过吸尘通孔11吸附在吸尘装置30内，避免了漂浮的灰尘的二次扩散，提高了灰尘清洁的效果。
28.可选的，继续参照图1，吸气管道11表面及吹气管道12表面共同形成连续凹凸表面，吸尘通孔111开设在连续凹凸表面的相对凹处，吹扫通孔121开设在连续凹凸表面的相对凸处。在一些实施例中，相邻排布的吹气管道12与吸气管道11的表面形成连续凹凸表面，这样设置的好处在于，通过设置于相对凸处的吹扫通孔121的射频离子风直接吹向一些狭小的区域，例如，一些方形区域的拐角处，将狭小区域内的灰尘吹起，电离后的灰尘则通过相对凹处的吸气通孔111吸附于吸尘装置30内，这样凹凸不平的设置避免了灰尘的二次扩散，通过在一狭小的空间内形成一循环气流，实现了对狭小空间内的灰尘清洁。
29.可选的，图4是本实用新型实施例提供的另一种灰尘清洁系统的剖面结构示意图，如图4所示，吸气管道11的第一侧壁沿轴向设置有多个吸尘通孔111；吹气管道12的第二侧壁沿轴向设置有多个吹扫通孔121。这样吹扫通孔121及吸尘通孔111密排分布，吹扫通孔121及吸尘通孔111形成多个循环气流，可以实现较大面积的灰尘清洁，提高灰尘清洁的效率，灰尘残留较少。
30.可选的，图5是本实用新型实施例提供的另一种灰尘清洁系统的俯视结构示意图，如图5所示，灰尘收集装置10包括一个吸气管道11和多个吹气管道12，多个吹气管道12均布于吸气管道11外侧。其中，吸气管道11的侧壁上设置多个吸气通孔111，各吹起管道12上设置一吹扫通孔121，这样各吹扫通孔121及吸尘通孔111形成多个循环气流，实现了灰尘的清洁的效果，也实现了灰尘清洁系统轻便化设计。
31.可选的，图6是本实用新型实施例提供的另一种灰尘清洁系统的俯视结构示意图，如图6所示。该灰尘清洁系统还包括至少一个调节开关装置40；调节开关装置40，用于控制吹气管道12的气流状态；和/或控制吸气管道11的气流状态。
32.其中，在一些实施例中，调节开关装置40可设置在吸气管道11和/或吹气管道12内，或者调节开关装置40设置在吹扫通孔121和吸尘通孔111处，通过调节开关装置40控制吹气管道12的气流状态，从而控制通过吹扫通孔121的气流大小，或者控制吸气管道11的气流状态，从而控制通过吸尘通孔111的气流大小，进而可以控制吹扫通孔121和吸尘通孔111之间是否形成循环气流或者控制循环气流的大小，以控制是否进行灰尘清洁或者灰尘清洁的程度，以满足不同用户的灰尘清洁需求。
33.可选的，继续参照图4，灰尘收集装置10沿其延伸方向包括多个工作段01，调节开关装置40分别控制各工作段01内吹扫通孔121和/或吸尘通孔111的工作状态。
34.其中，各工作段01内包括多个吹扫通孔121和吸尘通孔111，各个工作段01内的吹扫通孔121和吸尘通孔111的个数可以不同，也可以相同，这里对各工作段内的吹扫通孔121和吸尘通孔111的个数不作限定；各工作段01内的调节开关装置40可以为多个(图中仅示意出部分调节开关装置40)，调节开关装置40的个数与各工作段01内的吹扫通孔121和吸尘通
孔111的个数对应相同；各调节开关装置40控制各工作段01内的吹扫通孔121和/或吸尘通孔111的工作状态，即控制通过各工作段01内的吹扫通孔121和/或吸尘通孔111的气流大小，从而可以控制特定工作段内01进行不同程度的灰尘清洁，以针对特定区域进行不同程度的灰尘清洁；示例性的，控制工作段001内各调节开关装置40打开，控制工作段002内各调节开关装置40关闭，这样可以实现对工作段001对应的清扫区域的清洁；控制工作段001内各调节开关装置40关闭，控制工作段002内各调节开关装置40打开，可以实现对工作内002对应的清扫区域的清洁；如此可以针对特定区域的灰尘清洁，达到对特定区域的有效清洁。
35.可选的，继续参照图4，多个吹扫通孔121包括多个喷射方向，多个吸尘通孔111包括多个吸尘方向，调节开关装置40分别控制各喷射方向的吹扫通孔121的工作状态，和/或，调节开关装置40分别控制各吸尘方向的吸尘通孔111的工作状态。
36.其中，在一些实施例中，可以通过在多个吹扫通孔121外设置不同的喷射管路以实现多个吹扫通孔121的喷射方向不同；同样的，可以通过在多个吸尘通孔111外设置不同的吸尘管路以实现多个吸尘通孔111的吸尘方向不同；这样调节开关装置40控制各喷射方向的吹扫通孔121的气流大小，或者控制各吸尘方向的吸尘通孔111的气流大小，以实现多角度的吹扫和多角度的吸附，提高灰尘清洁的效果。
37.注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。