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基板上翻机构及基板检测方法与流程

时间:2022-01-23 阅读: 作者:专利查询

基板上翻机构及基板检测方法与流程

1.本公开涉及基板检测技术领域,具体地,涉及一种基板上翻机构及基板检测方法。


背景技术:

2.在中国内地显示行业大发展的同时,全球显示产业也面临新的挑战。传统lcd面板的规模化生产已经出现供大于求的局面,如何开发新技术的潜力成为显示企业的关注焦点,而作为显示产业的上游企业端,针对显示面板制作过程中的缺陷检测管理要求也越来越高。故对面板生产背板、封装、触屏工艺段对工艺过程中的点缺陷、面缺陷、短路缺陷、断路缺陷等各种缺陷进行在线自动检测并分析的设备逐渐被提上了日程。
3.现有技术中,检测大尺寸基板时,因为整个基板不能进入一个检测视野,基板需要竖直上下移动分区域检测,检测时基板和水平面的角度通常在60
°‑
90
°
之间,角度非90
°
时基板上下移动检测点和基板检测部位的距离发生改变,会影响不同区域检测的一致性,且基板从初始位置调整至检测位置通常需要进行旋转和移动两个步骤,增加了工艺的复杂性。


技术实现要素:

4.本公开的目的是提供一种基板上翻机构及基板检测方法,能够保证不同区域检测的一致性,提高宏观检测视野,增加检出率,且简化了工艺操作过程。
5.为了实现上述目的,本公开提供一种基板上翻机构,包括基座、第一驱动机构、连接杆、第二驱动机构和基板支撑装置,所述第一驱动机构固定在所述基座上,所述第二驱动机构的一端转动连接在所述基座上,所述连接杆的第一端与所述第一驱动机构的驱动端转动连接,所述连接杆的第二端与所述第二驱动机构转动连接,所述基板支撑装置与所述第二驱动机构的驱动端连接。
6.可选地,所述第一驱动机构包括第一滑轨、第一滑块和第一推杆机构,所述第一滑块滑动设置在所述第一滑轨上,所述第一推杆机构与所述第一滑块连接,所述第一推杆机构用于驱动所述第一滑块沿所述第一滑轨运动,所述连接杆的第一端与所述第一滑块转动连接。
7.可选地,所述第二驱动机构包括第二滑轨、第二滑块和第二推杆机构,所述第二滑块滑动设置在所述第二滑轨上,所述第二推杆机构与所述第二滑块连接,所述第二推杆机构用于驱动所述第二滑块沿所述第二滑轨运动,所述第二滑块与所述基板支撑装置连接,所述连接杆的第二端与所述第二滑轨转动连接。
8.可选地,所述基板上翻机构还包括旋转驱动机构,所述旋转驱动机构设置在所述第二滑块上,所述基板支撑装置与所述旋转驱动机构连接,所述旋转驱动机构用于驱动所述基板支撑装置旋转。
9.可选地,所述基板支撑装置包括支撑框架和多个支撑销,所述支撑框架的一侧上等间距均布有多个所述支撑销。
10.可选地,多个所述支撑销的自由端在同一平面且不在同一直线上。
11.可选地,所述支撑框架上沿周向设置有多个定位块,所述定位块用于所述基板的定位。
12.可选地,所述第一驱动机构的驱动方向与所述基座水平面的夹角范围为0
°
~90
°

13.本公开还提供一种基板检测方法,采用上述基板上翻机构。
14.可选地,所述方法包括:
15.将所述基板安置在所述基板支撑装置上;
16.控制所述第一驱动机构动作,使所述连接杆推动所述第二驱动机构绕转动点旋转至预设位置,以对所述基板的中间区域进行检测;
17.控制所述第二驱动机构向下移动预设距离,以对所述基板的上部区域进行检测;
18.控制所述第二驱动机构向上移动预设距离,以对所述基板的下部区域进行检测。
19.通过上述技术方案,基板支撑装置承载基板沿着与基板平行方向移动,使基板在移动过程中检测点和基板被检测部位的距离保持不变,能够保证不同区域检测的一致性,提高宏观检测视野,增加检出率,且简化了工艺操作过程,基板从初始位置调整到检测位置时,第二驱动机构绕转动点旋转,一步即可调整到检测位置,节省检测时间,提高检测效率。
20.本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
21.附图是用来提供对本公开的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本公开,但并不构成对本公开的限制。在附图中:
22.图1是本公开提供的一种实施方式的基板上翻机构的结构示意图;
23.图2是本公开提供的一种实施方式的基板上翻机构进行中间区域检测时的结构示意图;
24.图3是本公开提供的一种实施方式的基板上翻机构进行上部区域检测时的结构示意图;
25.图4是本公开提供的一种实施方式的基板上翻机构进行下部区域检测时的结构示意图。
26.附图标记说明
27.10-基板上翻机构;
28.11-基座;
29.13-第一驱动机构;131-第一滑轨;133-第一滑块;135-第一推杆机构;
30.15-连接杆;
31.17-第二驱动机构;171-第二滑轨;173-第二滑块;175-第二推杆机构;
32.19-基板支撑装置;191-支撑框架;193-支撑销。
33.21-旋转驱动机构;
34.23-定位块。
具体实施方式
35.以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描
述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开,并不用于限制本公开。
36.在本公开中,在未作相反说明的情况下,方位名词“上、下”是通常是基于附图的图面方向定义的。“内、外”是指相关零部件的内、外。此外,术语“第一”、“第二”等,仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
37.如图1-4所示,本公开提供一种基板上翻机构10,包括基座11、第一驱动机构13、连接杆15、第二驱动机构17和基板支撑装置19,第一驱动机构13固定在基座11上,第二驱动机构17的一端转动连接在基座11上,连接杆15的第一端与第一驱动机构13的驱动端转动连接,连接杆15的第二端与第二驱动机构17转动连接,基板支撑装置19与第二驱动机构17的驱动端连接。
38.通过上述技术方案,基板支撑装置19承载基板沿着与基板平行方向移动,使基板在移动过程中检测点和基板被检测部位的距离保持不变,能够保证不同区域检测的一致性,提高宏观检测视野,增加检出率,且简化了工艺操作过程,基板从初始位置调整到检测位置时,第二驱动机构17绕转动点旋转,一步即可调整到检测位置,节省检测时间,提高检测效率。
39.本公开对基座11的具体结构不作限定,可选地,本公开的一种实施方式中,基座11为截面为u形的框架结构。
40.本公开的一种实施方式中,第一驱动机构13和第二驱动机构17的数量均为两个,基座11两侧的凸出部上分别设置有一个第一驱动机构13和一个第二驱动机构17,第一驱动机构13和第二驱动机构17之间通过连接杆15连接。基板支撑装置19位于两个第二驱动机构17之间,且分别与两个第二驱动机构17的驱动端连接。
41.可选地,第一驱动机构13包括第一滑轨131、第一滑块133和第一推杆机构135,第一滑块133滑动设置在第一滑轨131上,第一推杆机构135与第一滑块133连接,第一推杆机构135用于驱动第一滑块133沿第一滑轨131运动,连接杆15的第一端与第一滑块133转动连接。
42.通过上述技术方案,第一推杆机构135通过驱动第一滑块133沿第一滑轨131运动,间接驱动连接杆15的第一端沿第一滑轨131运动,从而推动第二驱动机构17绕转动点旋转,将基板支撑装置19调整到检测位置。
43.本公开对第一推杆机构135的具体结构不做限定,可选地,本公开的一种实施方式中,第一推杆机构135包括但不限于推杆电机、电磁推杆、液压推杆和气缸推杆等。
44.本公开中第一滑轨131和第一滑块133可以用直线导轨和线性滑块滑轨组件等替代。
45.可选地,第二驱动机构17包括第二滑轨171、第二滑块173和第二推杆机构175,第二滑块173滑动设置在第二滑轨171上,第二推杆机构175与第二滑块173连接,第二推杆机构175用于驱动第二滑块173沿第二滑轨171运动,第二滑块173与基板支撑装置19连接,连接杆15的第二端与第二滑轨171转动连接。
46.通过上述技术方案,第二推杆机构175通过驱动第二滑块173沿第二滑轨171运动,间接驱动基板支撑装置19沿第二滑轨171运动,从而调整基板支撑装置19上承载的基板的位置,以对不同区域进行检测,提高宏观检测视野,增加检出率。
47.本公开对第二推杆机构175的具体结构不做限定,可选地,本公开的一种实施方式
中,第二推杆机构175包括但不限于推杆电机、电磁推杆、液压推杆和气缸推杆等。
48.本公开中第二滑轨171和第二滑块173可以用直线导轨和线性滑块滑轨组件等替代。
49.本公开的一种实施方式中,第二滑轨171的一端铰接在基座11上,连接杆15的一端与第一滑块133铰接,连接杆15的另一端与第二滑轨171铰接。
50.可选地,基板上翻机构10还包括旋转驱动机构21,旋转驱动机构21设置在第二滑块173上,基板支撑装置19与旋转驱动机构21连接,旋转驱动机构21用于驱动基板支撑装置19旋转。
51.通过上述技术方案,旋转驱动机构21用于驱动基板支撑装置19旋转,以使基板支撑装置19与第二驱动机构17的驱动方向平行,第二驱动机构17驱动基板支撑装置19过程中,基板支撑装置19承载基板沿着与基板平行方向移动,使基板在移动过程中检测点和基板被检测部位的距离保持不变,能够保证不同区域检测的一致性。
52.本公开对旋转驱动机构21的具体结构不作限定,可选地,本公开的一种实施方式中,旋转驱动机构21包括但不限于驱动电机等,驱动电机驱动端与基板支撑装置19连接。
53.可选地,基板支撑装置19包括支撑框架191和多个支撑销193,支撑框架191的一侧上等间距均布有多个支撑销193。
54.通过上述技术方案,支撑销193用于支撑放置在基板支撑装置19上的基板,多个支撑销193等间距均布,能够保证基板与支撑销193的接触点受力均匀,避免基板受力不均而碎裂。
55.可选地,多个支撑销193的自由端在同一平面且不在同一直线上。
56.通过上述技术方案,多个支撑销193的自由端共同构成支撑平面,以对基板进行支撑。
57.本公开的一种实施方式中,支撑销193的自由端上包裹有软质橡胶,以避免对基板表面造成损伤。
58.可选地,支撑框架191上沿周向设置有多个定位块23,定位块23用于基板的定位。
59.通过上述技术方案,定位块23的设置能够用于基板放置过程中的快速定位,提高检测效率。
60.可选地,第一驱动机构13的驱动方向与基座11水平面的夹角范围为0
°
~90
°

61.通过上述技术方案,第一驱动机构13推动第二驱动机构17绕转动点旋转,使第二驱动机构17与基座水平面的夹角范围为0
°
~90
°
,保证放置在基板支撑装置19上的基板与基座水平面存在夹角,以避免基板从基板支撑装置19上滑落。
62.本公开还提供一种基板检测方法,采用上述基板上翻机构10。
63.可选地,基板检测方法包括:
64.将基板安置在基板支撑装置19上。
65.控制第一驱动机构13动作,使连接杆15推动第二驱动机构17绕转动点旋转至预设位置,以对基板的中间区域进行检测。
66.控制第二驱动机构17向下移动预设距离,以对基板的上部区域进行检测。
67.控制第二驱动机构17向上移动预设距离,以对基板的下部区域进行检测。
68.通过上述技术方案,基板支撑装置19承载基板沿着与基板平行方向移动,使基板
在移动过程中检测点和基板被检测部位的距离保持不变,能够保证不同区域检测的一致性,提高宏观检测视野,增加检出率,且简化了工艺操作过程,基板从初始位置调整到检测位置时,第二驱动机构17绕转动点旋转,一步即可调整到检测位置,节省检测时间,提高检测效率。
69.本公开的一种实施方式中,在执行上述基板检测方法前或执行步骤控制第一驱动机构13动作前还包括步骤:
70.控制旋转驱动机构21动作,驱动基板支撑装置19旋转,使基板支撑装置19与第二驱动机构17的驱动方向平行。
71.可以理解的是,本公开采用上述基板上翻机构10的基板检测方法具体包括以下步骤:
72.控制旋转驱动机构21动作,驱动基板支撑装置19旋转,使基板支撑装置19与第二驱动机构17的驱动方向平行。
73.以定位块23为基准,将基板放置在支撑销193上。
74.控制第一推杆机构135动作,推动第一滑块133沿第一滑轨131移动,以使连接杆15推动第二驱动机构17绕转动点旋转至预设位置,以对基板的中间区域进行检测。
75.控制第二驱动机构17向下移动预设距离,以对基板的上部区域进行检测。
76.控制第二驱动机构17向上移动预设距离,以对基板的下部区域进行检测。
77.以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式,但是,本公开并不限于上述实施方式中的具体细节,在本公开的技术构思范围内,可以对本公开的技术方案进行多种简单变型,这些简单变型均属于本公开的保护范围。
78.另外需要说明的是,在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征,在不矛盾的情况下,可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复,本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。
79.此外,本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合,只要其不违背本公开的思想,其同样应当视为本公开所公开的内容。