一种超纯水制造系统，其依次包括预处理系统、一次纯水系统和二次纯水系统，一次纯水系统具备利用离子交换树脂对含硼的被处理水进行处理的离子交换装置，该离子交换装置包括：收容部，用于填充离子交换树脂；供给部，用于向收容部供给被处理水；以及排出部，用于从收容部排出处理水，在收容部中，分别将硼选择性离子交换树脂填充在供给部侧，将硼选择性离子交换树脂以外的离子交换树脂填充在排出部侧。
根据该超纯水制造系统以及超纯水制造方法，能够在不对子系统施加TOC负荷的情况下，稳定地获得将硼低浓度化后的超纯水。

中马高明 宫崎洋一

栗田工业株式会社

日本东京都

一种超纯水制造系统，其依次包括预处理系统、一次纯水系统和二次纯水系统，一次纯水系统具备利用离子交换树脂对含硼的被处理水进行处理的离子交换装置，该离子交换装置包括：收容部，用于填充离子交换树脂；供给部，用于向收容部供给被处理水；以及排出部，用于从收容部排出处理水，在收容部中，分别将硼选择性离子交换树脂填充在供给部侧，将硼选择性离子交换树脂以外的离子交换树脂填充在排出部侧。
根据该超纯水制造系统以及超纯水制造方法，能够在不对子系统施加TOC负荷的情况下，稳定地获得将硼低浓度化后的超纯水。