基于气体团簇离子束技术的中性射束处理方法和设备 下载此专利PDF版本

CN201180051189.1 中性 设备 离子束 气体 方法

目录

专利摘要

提供用于处理材料的来自加速气体团簇离子束的加速中性射束的设备、方法和产品。

专利状态

  1. 申请日
  2. 公开日
  3. 授权

基础信息

专利号
CN201180051189.1
申请日
2011-08-23
公开日
2013-06-26
公开号
CN103180030A
主分类号
/B/B01/ 作业；运输
标准类别
一般的物理或化学的方法或装置
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
授权

发明人

肖恩·R·柯克帕特里克 艾伦·R·柯克帕特里克

申请人

艾克索乔纳斯公司

申请人地址

美国马萨诸塞州

专利摘要

提供用于处理材料的来自加速气体团簇离子束的加速中性射束的设备、方法和产品。

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