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专利名称
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专利号
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申请日期
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专利状态
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1 | 基于气体团簇离子束技术的中性射束处理方法和设备 | CN201180051189.1 | 2011-08-23 | 授权 |
2 | 一种用于增强磁聚焦型霍尔推力器离子束聚焦的结构及该结构的设计方法 | CN201711434603.2 | 2017-12-26 | 授权 |
3 | 一种离子束抛光单片集成Fabry-Pérot腔全彩滤光片大批量制造方法 | CN202010131793.6 | 2020-02-29 | 审查中-实审 |
4 | 在非导电衬底上进行电子束或离子束聚焦刻蚀及显微成像的方法 | CN201910208280.8 | 2019-03-19 | 有效专利 |
5 | 降低离子束抛光光学元件表面污染的方法 | CN201910844111.3 | 2019-09-06 | 审查中-实审 |