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专利摘要

本发明公开了一种利用柯恩达效应的水刀结构,包括流体供应管以及水刀,所述水刀由前主体及后主体组成,所述前主体具有用于将清洁液引入内部的入口管,所述后主体连接到流体供应管的相对表面并与入口管连通,从而与前主体形成相互间隙以增加清洁液的水压,所述前主体的下部形成有柯恩达曲率表面,所述柯恩达曲率表面引导通过间隙供应的清洁液在前主体的纵向上均匀地分布,根据本发明的利用柯恩达效应的水刀结构,通过基于流体的压力和水刀的间隙来设计附壁的曲率半径,防止了以往因颗粒而导致的流体供应的分支现象,因此,具有充分降低诸如液晶显示器(LCD)的平板显示器的刻蚀或清洁过程中的不良率的效果。

专利状态

基础信息

专利号
CN202011062037.9
申请日
2020-09-30
公开日
2021-01-29
公开号
CN112275703A
主分类号
/B/B05/ 作业;运输
标准类别
一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
发明公开

发明人

胡璐

申请人

南京华易泰电子科技有限公司

申请人地址

210032 江苏省南京市江北新区智能制造园博富路10号

专利摘要

本发明公开了一种利用柯恩达效应的水刀结构,包括流体供应管以及水刀,所述水刀由前主体及后主体组成,所述前主体具有用于将清洁液引入内部的入口管,所述后主体连接到流体供应管的相对表面并与入口管连通,从而与前主体形成相互间隙以增加清洁液的水压,所述前主体的下部形成有柯恩达曲率表面,所述柯恩达曲率表面引导通过间隙供应的清洁液在前主体的纵向上均匀地分布,根据本发明的利用柯恩达效应的水刀结构,通过基于流体的压力和水刀的间隙来设计附壁的曲率半径,防止了以往因颗粒而导致的流体供应的分支现象,因此,具有充分降低诸如液晶显示器(LCD)的平板显示器的刻蚀或清洁过程中的不良率的效果。

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