本发明公开了一种利用柯恩达效应的水刀结构,包括流体供应管以及水刀,所述水刀由前主体及后主体组成,所述前主体具有用于将清洁液引入内部的入口管,所述后主体连接到流体供应管的相对表面并与入口管连通,从而与前主体形成相互间隙以增加清洁液的水压,所述前主体的下部形成有柯恩达曲率表面,所述柯恩达曲率表面引导通过间隙供应的清洁液在前主体的纵向上均匀地分布,根据本发明的利用柯恩达效应的水刀结构,通过基于流体的压力和水刀的间隙来设计附壁的曲率半径,防止了以往因颗粒而导致的流体供应的分支现象,因此,具有充分降低诸如液晶显示器(LCD)的平板显示器的刻蚀或清洁过程中的不良率的效果。
胡璐
南京华易泰电子科技有限公司
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本发明公开了一种利用柯恩达效应的水刀结构,包括流体供应管以及水刀,所述水刀由前主体及后主体组成,所述前主体具有用于将清洁液引入内部的入口管,所述后主体连接到流体供应管的相对表面并与入口管连通,从而与前主体形成相互间隙以增加清洁液的水压,所述前主体的下部形成有柯恩达曲率表面,所述柯恩达曲率表面引导通过间隙供应的清洁液在前主体的纵向上均匀地分布,根据本发明的利用柯恩达效应的水刀结构,通过基于流体的压力和水刀的间隙来设计附壁的曲率半径,防止了以往因颗粒而导致的流体供应的分支现象,因此,具有充分降低诸如液晶显示器(LCD)的平板显示器的刻蚀或清洁过程中的不良率的效果。