本发明公开一种压电微机械超声换能器背衬结构，包括相连的填充部和倾斜部，填充部设置于压电微机械超声换能器的背腔中，倾斜部远离填充部的一侧具有倾斜面，倾斜面与压电微机械超声换能器的压电薄膜所在平面之间具有夹角。
本发明的压电微机械超声换能器背衬结构，倾斜部设置倾斜面，传播的声波经过填充部和倾斜部吸收的同时，在倾斜面被反射，减少反射回压电薄膜的声波，提升压电微机械超声换能器的分辨率。
压电微机械超声换能器阵列中，多个倾斜面与其相对应的压电微机械超声换能器的压电薄膜所在平面之间的夹角相一致，使压电微机械超声换能器阵列各个单元间具有相同的背衬衰减特性，提升压电微机械超声换能器阵列各单元的一致性。

陈余 刘利芳 邢占强 计炜梁 杜亦佳

中国工程物理研究院电子工程研究所

621054 四川省绵阳市游仙区绵山路64号

本发明公开一种压电微机械超声换能器背衬结构，包括相连的填充部和倾斜部，填充部设置于压电微机械超声换能器的背腔中，倾斜部远离填充部的一侧具有倾斜面，倾斜面与压电微机械超声换能器的压电薄膜所在平面之间具有夹角。
本发明的压电微机械超声换能器背衬结构，倾斜部设置倾斜面，传播的声波经过填充部和倾斜部吸收的同时，在倾斜面被反射，减少反射回压电薄膜的声波，提升压电微机械超声换能器的分辨率。
压电微机械超声换能器阵列中，多个倾斜面与其相对应的压电微机械超声换能器的压电薄膜所在平面之间的夹角相一致，使压电微机械超声换能器阵列各个单元间具有相同的背衬衰减特性，提升压电微机械超声换能器阵列各单元的一致性。