公开了一种用于电容式射频微机电开关的系统和操作方法，所述电容式射频微机电开关是诸如用于超声系统中的CMUT单元。
RFMEMS可以包括基板、连接到所述基板的第一电极、膜和连接到所述膜的第二电极。
在一些范例中，在第一电极与第二电极和柔性膜之间存在电介质堆叠。
电介质堆叠设计使膜塌陷电压中的漂移最小化。
在其他范例中，电极之一是环形形式的，并且第三电极被提供为占据环的中心的空间。
备选地，第一和第二电极两者都是环形形式的并且在环内部在电极之间存在支撑件。

H-P·勒布尔 S·舒列波夫

皇家飞利浦有限公司

荷兰艾恩德霍芬

公开了一种用于电容式射频微机电开关的系统和操作方法，所述电容式射频微机电开关是诸如用于超声系统中的CMUT单元。
RFMEMS可以包括基板、连接到所述基板的第一电极、膜和连接到所述膜的第二电极。
在一些范例中，在第一电极与第二电极和柔性膜之间存在电介质堆叠。
电介质堆叠设计使膜塌陷电压中的漂移最小化。
在其他范例中，电极之一是环形形式的，并且第三电极被提供为占据环的中心的空间。
备选地，第一和第二电极两者都是环形形式的并且在环内部在电极之间存在支撑件。