本发明的实施例的超声波浮起模块包括与浮起对象物相对的板、对所述板施加用于浮起所述浮起对象物的振动的振子及结合于通过所述振子形成于所述板的节点线且支撑所述板的支撑部件。
本申请能够减少浮起对象物损伤且能够减少对涂布药液的工序或热干燥的工序等的影响。

苏秉禄 李成一 李尚俊

韩国生产技术研究院

韩国忠清南道天安市

本发明的实施例的超声波浮起模块包括与浮起对象物相对的板、对所述板施加用于浮起所述浮起对象物的振动的振子及结合于通过所述振子形成于所述板的节点线且支撑所述板的支撑部件。
本申请能够减少浮起对象物损伤且能够减少对涂布药液的工序或热干燥的工序等的影响。