公开了用于电容式射频微机电开关(例如用于在超声系统中使用的CMUT单元)的系统和操作方法。
RFMEMS可以包括：基板、被连接到所述基板的第一电极、膜，以及被连接到所述膜的第二电极。
在一些示例中，在所述第一电极与所述第二电极之间存在介电叠层。
介电叠层设计使膜塌陷电压的漂移最小化。
在其他示例中，被耦合到压缩CMUT单元的超声阵列的电压源适于向CMUT单元的电极提供电压分布的序列，其中，每个分布包括偏置电压和刺激电压，并且其中，序列中的每个后续电压分布的极性与前一分布的极性相反。
在另一示例中，提供了一种被布置为确定CMUT单元的漂移电压的电容感测电路。

S·舒列波夫 P·迪克森 H-P·勒布尔 F·P·M·布德泽拉 P·H·M·蒂默曼斯 N·M·A·德维尔德

皇家飞利浦有限公司

荷兰艾恩德霍芬

公开了用于电容式射频微机电开关(例如用于在超声系统中使用的CMUT单元)的系统和操作方法。
RFMEMS可以包括：基板、被连接到所述基板的第一电极、膜，以及被连接到所述膜的第二电极。
在一些示例中，在所述第一电极与所述第二电极之间存在介电叠层。
介电叠层设计使膜塌陷电压的漂移最小化。
在其他示例中，被耦合到压缩CMUT单元的超声阵列的电压源适于向CMUT单元的电极提供电压分布的序列，其中，每个分布包括偏置电压和刺激电压，并且其中，序列中的每个后续电压分布的极性与前一分布的极性相反。
在另一示例中，提供了一种被布置为确定CMUT单元的漂移电压的电容感测电路。