一种可控压力的悬臂轮带抛光装置及抛光方法,它属于超精密加工技术领域，主要为了解决现有技术中的抛光方式在抛光时会引入一定的中高频误差为提升面形精度带来较大难度，且不能有效抛光具有大深径比的复杂表面光学元件，特别是内表面，同时可控接触压力抛光装置多采用单一的接触控制方法，无法高效抛光与目标面形相差较大的工件的问题，本发明它包括底板、轮杆组件、驱动组件、修整组件、抛光带、张紧组件和导向惰轮，本发明主要用于硬脆材料光学复杂表面的超精密加工。

郭兵 纪云龙 赵清亮

哈尔滨工业大学

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

一种可控压力的悬臂轮带抛光装置及抛光方法,它属于超精密加工技术领域，主要为了解决现有技术中的抛光方式在抛光时会引入一定的中高频误差为提升面形精度带来较大难度，且不能有效抛光具有大深径比的复杂表面光学元件，特别是内表面，同时可控接触压力抛光装置多采用单一的接触控制方法，无法高效抛光与目标面形相差较大的工件的问题，本发明它包括底板、轮杆组件、驱动组件、修整组件、抛光带、张紧组件和导向惰轮，本发明主要用于硬脆材料光学复杂表面的超精密加工。